1. 進樣系統(tǒng)：該系統(tǒng)負責將樣品引入ICP-MS儀器中，包括導管、蠕動泵、霧化器以及霧室。樣品通常以溶液形式，通過蠕動泵送入霧化器轉(zhuǎn)化為氣溶膠狀態(tài)，然后被引入到ICP的中心。霧化器產(chǎn)生的氣溶膠通過霧化室向等離子體炬?zhèn)鬟f，霧化室的作用是濾去大的霧粒，保持穩(wěn)定的細小霧粒的氣溶膠流。
2. 離子源：主要由矩管和RF線圈組成，是產(chǎn)生高溫等離子體的地方。在ICP系統(tǒng)中，通過射頻能量激發(fā)氬氣產(chǎn)生等離子體，形成高溫環(huán)境（約6000~10000K），使樣品中的元素電離。
3. 接口系統(tǒng)：是ICP離子源與質(zhì)譜儀的連接裝置，負責將等離子體中的離子有效傳出到質(zhì)譜儀。它主要由兩個（或三個）同軸放置的圓錐體所組成，直接與等離子體焰炬接觸的稱為采樣錐（或提取錐），在采樣錐后幾毫米處，同軸放置的第二個錐稱為截取錐。
4. 離子聚焦透鏡系統(tǒng)：位于截取錐之后，功能是把離子流聚焦成散角盡量小的很細的離子束，然后傳輸?shù)劫|(zhì)量分析器。
5. 質(zhì)量分析器：是ICP-MS的核心部件，負責根據(jù)離子的質(zhì)荷比（m/z）進行分離和檢測。常用的質(zhì)量分析器包括四級桿、離子阱、飛行時間質(zhì)譜、磁質(zhì)譜等。
6. 真空系統(tǒng)：用于維持質(zhì)譜儀所需的高真空環(huán)境，以確保離子在運動中不產(chǎn)生不應有的碰撞。

    此外，ICP-MS儀器通常還配備有數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、氣體系統(tǒng)和檢測器等輔助部件，以及用戶友好的軟件，用于控制儀器操作、數(shù)據(jù)處理和報告生成。